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MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀是以傅里葉變換紅外為基礎的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導體生產(chǎn)工藝控制和監控,氣體純度和組成分析,環(huán)境有毒有害氣體監視和工業(yè)尾氣監視。MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達40%水的氣流,能同時(shí)分析和顯示多達30種氣體。
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